真空泵
概述
真空專家: 帶有預進氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風機
為了實現預進氣冷卻,殼體在進氣側增加了一個插口(原有兩個,現為三個)。 滑油供應由濺油潤滑實現。 輸送室由密封裝置真空密封。 驅動軸由帶有油欄的兩個徑向密封環密封。 流動方向為縱向,自上而下。 驅動可以通過直接耦合也可以通過窄 V 型皮帶來實現(在限制壓力差之下)。
These blowers are useful in improving production processes in a wide variety of industries, including:
Chemical Process Technology
Evacuation of Hydrogen
Thin Film Foil and Glass Coating
Helium Leak Indication Units
Laser Technology
Manufacturing of Flat Screens Manufacturing of Melting Furnaces/ Metallurgy
Micro-Electronics Manufacturing
Semiconductor Instrument Manufacturing
Solar Technology
應用 AERZEN MHV 系列鼓風機的特殊優勢:
有 11 種結構尺寸可選
在適用范圍內,粗略真空可作為多級泵座的中間級,或者作為相對于大氣壓力的負壓級亦適用
壓力差可達 800 mbar
適用于較高的壓縮比和 p1/p2 = 5 以內的粗略真空范圍
適于持續運行且不會造成過熱問題
明顯降低壓縮排氣溫度
無需其他必要的閥門、控制器等
信息與文檔
技術參數
結構形式:正排量風機
體積流量:250 止于 61.000 m3/h
介質:空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體
輸送:無油
FINAL VACUUM:最大表壓(單位:10mbar)
PRESSURE DIFFERENCE:最大表壓(單位:10 - 300mbar)
應用
適用于應用的天才。
帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。
此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風機,然后泵送流程啟動。 根據應用的不同,可以使用液環泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數集時,前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。
應用領域
半導體行業
微電子工業
平面屏幕制造
激光技術
太陽能技術
氦檢漏裝置
化學工藝技術
箔紙和玻璃噴漆
熔爐制造
氫的提取
*使用帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 真空鼓風機時,必須配備額外的前級泵(多級系統)。
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