帶有預進氣冷卻裝置的真空泵

概述

真空專家： 帶有預進氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風機

為了實現預進氣冷卻，殼體在進氣側增加了一個插口（原有兩個，現為三個）。 滑油供應由濺油潤滑實現。 輸送室由密封裝置真空密封。 驅動軸由帶有油欄的兩個徑向密封環密封。 流動方向為縱向，自上而下。 驅動可以通過直接耦合也可以通過窄 V 型皮帶來實現（在限制壓力差之下）。

These blowers are useful in improving production processes in a wide variety of industries, including:

Chemical Process Technology

Evacuation of Hydrogen

Thin Film Foil and Glass Coating

Helium Leak Indication Units

Laser Technology

Manufacturing of Flat Screens Manufacturing of Melting Furnaces/ Metallurgy

Micro-Electronics Manufacturing

Semiconductor Instrument Manufacturing

Solar Technology

應用 AERZEN MHV 系列鼓風機的特殊優勢：

有 11 種結構尺寸可選

在適用范圍內，粗略真空可作為多級泵座的中間級，或者作為相對于大氣壓力的負壓級亦適用

壓力差可達 800 mbar

適用于較高的壓縮比和 p1/p2 = 5 以內的粗略真空范圍

適于持續運行且不會造成過熱問題

明顯降低壓縮排氣溫度

無需其他必要的閥門、控制器等

信息與文檔

技術參數

結構形式：正排量風機

體積流量：250 止于  61.000 m3/h

介質：空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送：無油

FINAL VACUUM：最大表壓（單位：10mbar）

PRESSURE DIFFERENCE：最大表壓（單位：10 - 300mbar）

應用

適用于應用的天才。

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。

此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風機，然后泵送流程啟動。 根據應用的不同，可以使用液環泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數集時，前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。

應用領域

半導體行業

微電子工業

平面屏幕制造

激光技術

太陽能技術

氦檢漏裝置

化學工藝技術

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

*使用帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 真空鼓風機時，必須配備額外的前級泵（多級系統）。